儀器名稱

X射線電子能譜（XPS）

英文名稱

X-ray photoelectron spectroscopy 

型號

島津 AXIS UltraDLD 

技術指標

能量分辨率：0.48 eV/(Ag 3d5/2），0.68 eV/(C 1s)

zui小分析區域（收譜） <10μm

靈敏度（Ag 3d5/2）：大面積 11,800kcps (1.3eV )

空間分辨率 (快速平行成像 )：小于3μm

空間分辨率(掃描成像)：15μm 和27μm

應用領域

多功能X射線光電子能譜儀可以提供有關固體表面和界面的化學信息?？梢苑治龀龤?、氦以外的所有元素，包括元素種類及價態。并可以提供測定元素相對含量的半定量分析。

廣泛應用于研究聚合物、無機化合物、有機化合物、催化劑、涂層材料、納米材料、礦石等各種材料。

功能特色

能分析小至10μm的微小區域；能進行在1nm~數nm深度分辨率下分析到μm量級深度的深度剖面分析